芯势力⑥｜英嘉动力：聚焦精密流体控制，助力半导体核心阀件国产化

为深入展示无锡集成电路产业链企业创新发展成果，充分发挥典型企业示范带领作用，无锡市半导体行业协会推出“芯势力”系列专题，聚焦产业链关键环节会员企业，系统呈现企业在技术攻关、产品创新及产业协同等方面的实践成效。

本期走进——英嘉动力科技（无锡）有限公司

1、企业简介：深耕精密流体控制的核心阀件企业

英嘉动力科技（无锡）有限公司创立于2018年4月，总部位于无锡高新区——无锡中关村科技创新园。公司以专业技术团队为根基，以精密控制阀类技术为平台，致力于半导体设备等领域电磁阀相关产品的研发、生产和销售。     作为一家聚焦流体精密控制领域的技术型企业，英嘉动力持续围绕装备对关键阀件可靠性、稳定性和洁净度的严苛要求开展技术攻关，为半导体专用设备提供核心阀件及系统解决方案，助力关键零部件国产化替代。凭借持续的技术创新能力和产品研发实力，公司先后获评高新技术企业、科技领军人才创业团队、“创响无锡”特等奖、“科创中国”新锐企业、高新技术产品、专精特新企业等荣誉，并于2025年取得CE认证资质。公司核心人才团队先后获得江苏省“双创人才”、无锡市“太湖人才”、新吴区创业领军人才等人才荣誉，同时通过IATF16949、ISO14001、ISO45001等体系认证，为企业持续提升质量管理、环境管理和职业健康安全管理水平奠定了坚实基础。

2、技术能力：突破半导体阀件关键核心技术

流体控制部件是半导体设备运行中的重要基础零部件，广泛应用于温控、气体处理、压力控制、介质切换等关键环节，对产品的密封性、响应速度、耐压能力、耐温性能及长期稳定性提出较高要求。英嘉动力在流体精密控制领域深耕十余年，围绕半导体设备应用场景持续推进核心技术研发，已申请知识产权超过120项，其中发明专利75项，在半导体阀件关键技术方面形成较强积累。公司通过持续提升产品设计、材料选型、制造工艺和系统适配能力，为高压、超低温、防爆、长通电、超洁净等复杂工况提供可靠支撑。

3、产品体系：面向严苛场景打造高可靠阀类产品

围绕半导体设备及装备对流体精密控制的多样化需求，英嘉动力持续完善产品体系，已形成覆盖阀类控制、流量检测与流量控制等方向的核心产品布局，产品包括微型比例阀、单向阀、防爆隔离阀、流量计、三通电磁阀、泄压阀、直动式开关阀、质量流量控制器等，可广泛应用于半导体专用温控设备、工艺废气处理设备及其他装备关键流体控制环节。

微型比例阀

单向阀

防爆隔离阀

流量计

三通电磁阀

泄压阀

直动式开关阀

质量流量控制器

在生产制造方面，公司依托万级洁净车间组织生产，产品具备IP68防护、防爆认证、脱油脱脂处理等特性，能够适配半导体设备对洁净度、安全性、可靠性和长期稳定运行的要求。相关产品可应用于半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）等专用设备，为设备整机性能提升提供关键支撑。

4、应用实践：服务半导体专用设备关键环节

在半导体设备领域，阀类产品虽体积较小，却承担着介质开关、压力调节、流路切换、安全保护等重要功能，其性能稳定性直接关系到设备运行效率和工艺过程可靠性。     英嘉动力坚持以客户需求和应用场景为导向，围绕半导体专用温控设备、工艺废气处理设备等关键应用环节，持续开展产品适配与技术优化。公司产品能够满足高压、超低温、防爆、长时间通电及超洁净等严苛使用环境要求，为半导体专用设备企业提供稳定可靠的核心阀件解决方案，助力提升国产设备供应链配套能力。

5、产业价值：补强半导体设备关键零部件配套能力

半导体设备是集成电路产业链中的关键环节，核心零部件的自主可控水平直接关系到产业链供应链安全。阀类产品作为半导体设备中的重要基础部件，是设备稳定运行和工艺可靠实施的重要保障。英嘉动力立足无锡、面向装备产业需求，持续推进精密流体控制技术创新和半导体阀件国产化突破，为半导体设备企业提供核心阀件与系统解决方案。未来，公司将继续围绕半导体设备、清洁能源、新能源等重点领域，强化技术研发和产品迭代，推动更多高可靠阀类产品在装备场景中实现应用，为无锡集成电路产业链补链强链和高质量发展贡献力量。

“芯势力”系列将持续围绕无锡集成电路产业链关键环节，深入挖掘和展示会员企业在技术创新、产品研发及产业协同方面的典型实践，推动形成示范带领、协同发展的良好产业生态。